AcouLab SAM-DENEB ꜛ сканирующий акустический микроскоп
Высокая скорость сканирования, широкий диапазон частот, оптимальное разрешение при очень небольших габаритах делают акустический микроскоп SAM-DENEB эффективным и современным решением для неразрушающего контроля.
Полное описание
Акустическая микроскопия — это метод неразрушающего контроля, позволяющий выявлять скрытые дефекты в однородных и разнородных объектах и структурах. В микроэлектронике акустическая микроскопия применяется для выявления дефектов выводов flip-chip микросхем, пустот и расслоений, образующихся при монтаже и заливке кристаллов, трещин и повреждений микросхем и т.п.
Базовым способом поиска дефектов является Эхо-метод (метод отраженных импульсов). В однородной среде твердого тела любая граница раздела будет приводить к отражению волны. Рабочая голова микроскопа регистрирует обратный сигнал, позволяя по эхограмме определить размеры дефекта и его расположение.
Преимущества установки:
- простой принцип действия
- широкий диапазон частот
- высокая проникающая способность акустической волны
- высокая чувствительность, позволяющая распознавать субмикронные дефекты
- возможность объемного контроля
- безопасность для оператора и среды
- возможность исследования широкой номенклатуры изделий помимо изделий электронной промышленности
Области применения:
- Flip-chip выводы корпусированных микросхем
- дефекты герметизации в корпусированных микросхемах
- трещины и расслоения кристаллов в корпусированных микросхемах
- расслоения на подложках и многослойных печатных платах
- дефекты монтажа кристаллов (загрязнения, расслаивание адгезива, пустоты в пайке и др.)
- дефекты в LTCC
Возможности программного обеспечения:
- операционная система Windows™7
- автоматический и ручной режимы работы
- автоматическая фокусировка
- сканирование вида «сигнал-эхо» и «сквозной режим»
- сканирование в режимах: A, B, C — Scan, FFT — Scan, TOF 3D, Multi-Layer Scan, Tray Scan, Strip Scan
Рис. 1 — AcouLab SAM-DENEB ꜛ программное обеспечение
|
Рис. 2 — AcouLab SAM-DENEB ꜛ результат сканирования
|
Параметры
Диапазон частот | до 500 МГц |
Область сканирования, мм | до 350×350 |
Высота образца, мм | до 70 |
Область размещения образца, мм | 500×520 |
Разрешение системы позиционирования | 0,5 мкм по оси X, линейный привод 1 мкм по оси Y, шаговый двигатель 2,5 мкм по оси Z, шаговый двигатель |
Скорость сканирования, мм/сек | до 1000 |
Монитор | 24” LCD |
Электропитание | 230 В, 50 Гц, 1 фаза |